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如果氮原子能够填补缺陷,磷原子的掺杂就有了空间……
本来是准备先解决n型掺杂问题的,结果这一思考,问题就跳跃到了共掺杂?
因为四十三所的n型掺杂实验,采用的是磷掺杂。
所以在共掺杂中,他们研究的便是磷—氮共掺的方法。
这也使得陈舟就这样把两者联系在了一起。
陈舟不由得在心中笑了笑,但也随即便决定将n型掺杂和共掺杂的问题放在一块解决。
在共掺杂实验中,最早被作为磷源的是PH3,被作为氮源的是N2。
但是,采用这两种气体进行实验时,得到的结果却并不理想。
制备出来的掺杂金刚石膜的电阻率很高。
随后的实验中,磷源和氮源的选择被不断变更。
像是NH4H2P04这种包含磷元素和氮元素的单一掺杂源,也被应用到了研究上。
但得到的金刚石膜的电阻率依然很高。
陈舟又看了一眼四十三所的实验数据,随即开始在草稿纸上整理可以作为氮源和磷源的物质。
在陈舟沉浸在研究中时,房间外的天色已经渐渐暗了下来。
“陈舟。”
被沈靖的声音喊醒,陈舟疑惑的抬起头看着沈靖。
沈靖指了指电脑:“数据分析完成了。”
“噢。”陈舟应了一声,起身走到沈靖旁边看了一眼。
分析的结果和他的预料基本上没有多大差别。
“发给我,我做最后的处理。”
沈靖点点头:“
第259章 p型、n型、共掺杂(6/9)