用的是什么，目的就只有一个……”
“不管装置内的系统是什么样的，它都始终只为了制备出掺杂的金刚石薄膜……”
陈舟的思路变得清晰起来，方向也逐渐明确。
在四十三所的共掺杂实验中，装置内并没有采用多余的系统作为辅助。
但其实，如果有其它系统辅助的话，可能结果会更好也说不定。
这是国外的一篇文献给陈舟的启发。
把写满的草稿纸拿到一边，换上一张新的草稿纸，再把笔芯换上满水的。
陈舟在草稿纸上写到：
【在NiMnCo—C系统中，采用P2N5、羰基离子粉末和磷粉末在高温高压下混合，提供氮源和磷源，以此方法掺杂金刚石……】
写完这句话，陈舟突然笑了出来。
“这么简单的道理，为什么我还想了这么久？”
相比单纯的氮掺杂金刚石，sp3-CH3形式的H原子更容易掺入磷—氮共掺的金刚石晶格中，提高共掺杂金刚石的质量。
因为在磷—氮共掺系统中，磷原子掺入后产生许多缺陷，形成了碳原子悬挂键，有助于氢原子掺入金刚石晶格。
而氢原子可以刻蚀sp2相，有利于高质量金刚石薄膜的沉积。
“系统和氮源、磷源确定后，那共掺杂实验剩下的问题，就好解决了……”
陈舟说着，把放在一旁的几张草稿纸拿了过来。
这是在研究氮源和磷源时，针对不同情况，陈舟所做的参数研究。
这会，正好拿来验证。
一般的衬底温
第259章 p型、n型、共掺杂(8/9)