已经不够用了。
但离子光刻机只有5000多个零部件，重量只有59吨多，和初级制造台的外形一摸一样，算是将《戴森球计划》中的技术应用完全了。
真正的科技应该是极尽简单，使用的零部件越少越好。
“赵总，现在原型验证机已经组装完毕了，我们要测试一下吗？”
饶易饶有脸上带着激动的表情，看着赵玄，当初的一面之缘，让他没想到竟然能够接触到这种设备。
一开始还不相信的他，在看到最终成型的设备之后不禁感慨赵玄的设计能力，这么复杂的设备，赵玄一个人能够有条不紊的将所有设计思路理清，想到就非常难。
当然，实验室内不止他一个人感到不可思议，魏俊也是一样，从机床那边调过来，没想到研究的竟然是光刻机，还是高精度光刻机，即在情理之外，又在意料之中。
虽然只是原型验证机，但魏俊依旧不敢大意，只有真正试生产过，才能证明技术的成熟度。
“可以，不过就交给你们了，现我得去休息一下放空放空脑袋。”
从开始画设计图，赵玄就把心思放在了这台光刻机上，不得不说，哪怕自己已经掌握所有技术原理，加上纳米级机床，完成起来都很不简单，怪不得光刻机是高端制造业的代表性产物。
尤其是实验室内这台和初级制造台一摸一样的产物，赵玄算是将初级制造台芯片生产的模块单独组装生产出来一样。
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。
现
第一百一十五章离子光刻机验证机(3/5)