虽然光源设备是适配这个光刻机的，但是有很多小问题是需要处理的，不然别说芯片造不出来，光刻机损坏都是很正常的。
工作了大半天后，李由与张岩泰一起审查了一遍，这才对着房间内的摄像头比了个OK的手势。
“赵教授，实验就要开始了。”顾青提醒道。
赵兴夏点了点头。
不论是近紫外（NUV）激光还是深紫外（DUV）激光，又或者最高端的极紫外光EUV。
它们都有个紫字，并非是很深奥的问题，因为这几个光源都是名副其实的紫色光源。
九州科技半导体部门研发的稳态微聚束的SS1MB光源，为这个分辨率90nm的S1A60020光刻机的适配光源设备是DUV深紫外光。
光源设备运行，激光器发射出来的深紫外光
经过矫正后，进入能量控制器、光束成型装置等设备，再进入光掩膜台。
光掩膜台上面放的测试用的光掩膜，之后经过物镜投射到曝光台。
曝光台上放置着一张8英寸晶圆片，上面涂抹了光刻胶。
半个小时后……当然芯片不是这么一点时间就可以做出来的，但是其工作状态和试运行成果却是能判断的。
“这，这，这……”
“这居然是真的，国产DUV光源？我不是在做梦吧，老赵。”
“纯净度极为优秀”
刚刚还有些负气的年轻工程师此刻看着工作间里面的光刻机，嘴巴不自觉张大，眼神有些涣散。
李由作为一个有家室的中年人，很是照顾后辈。
第177章 国产DUV光源(2/5)